| 型号 Mode |
HCEB-1100 | HCEB-1350 | HCEB-1550 | HCEB-1800 | HCEB-2350 | HCEB-2700 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 腔体尺寸mm Size |
Φ1100×H1520 | Φ1350×H1610 | Φ1550×H1810 | Φ1800×H1850 | Φ2350×H1510 | Φ2700×H1850 |
| 伞架mm DOME |
Φ950 | Φ1200 | Φ1400 | Φ1600 | Φ2250 | Φ2640 |
| 转速 Rotational speed |
10-30RPM(可变 variable) | |||||
| 膜厚控制仪 Thickness Monitor |
反射式或透射式光学膜厚控制仪/石英晶体膜厚控制仪 Quartz Crystal or Optical Monitor |
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| 离子源 Ion source |
射频/考夫曼型/霍尔型离子源 RF/Kaufman-type /End-hall-type Ion beam Source |
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| 蒸发源 Evaporation |
电子枪（双源共蒸选配）、多点/环型坩埚, 阻抗式蒸发源 E-Beam Source (Dual source co steaming optional), Multi-point crucible hearth or annular hearth, Thermal source |
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| 适用波长nm Wavelength |
300-1560 | 300-1560 | 300-1560 | 380-780 | 380-780 | 380-780 |